PATENT

International

김현재, 이희수, 윤두현, 정태수, 탁영준, 김원기, 박정우

전기 에너지를 이용한 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치

출원번호: 15/054,491 미국, 출원일: 2016-02-26